黒崎寿夫
半導体工場より発生する産業廃棄物の約30％は、フッ素含有廃水処理汚泥である。このフッ素系廃棄汚泥量の削減を目指し、新しい廃水処理法を確認したので、その原理、特徴および性能について述べる。 処理方法は、まずアルミニウム処理剤を使用し廃水中のフッ素をAlF3として固定し、廃水中のフッ素を低濃度まで除去する。次に、AlF3を溶解するとともにカルシウム処理剤を添加しCaF2に置換する。この方法によりフッ素の処理性能を向上させるとともに、フッ素含有汚泥量を従来のカルシウム沈殿法に比べて75％以上削減できることが確認できた。また、使用したアルミニウム処理剤の大部分が再利用できるため、省資源およびコスト削減の効果は大きい。
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