沖電気研究開発(No.169)

ディープサブミクロン領域におけるプロセスマージンの最適化の一手法

 馬場俊祐  大平茂晴  石井聡巳

 素子の微細化に伴い,LSI設計段階で考慮すべき製造プロセスばらつきの見積もり方法が,LSIの性能,歩留まりに大きな影響を及ぼすようになっている。そこで,実際の工程で起こりうるプロセス変動を考慮した素子パラメータを抽出する手法を提案した。
 提案した手法を用い,実際のプロセス変動を考慮したベスト・ワースト条件を抽出した結果,初期設計段階での遅延時間の変動幅を従来の3分の1に狭めることができた。


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