沖電気研究開発(No.176)

半導体工場用省エネルギー空調システム
(FMU方式の評価)

 松木幹雄
 田中宣雄

半導体製造工場全体で消費される消費電力量は年間約1億kWhを越えているが、その約43%が空調設備の運転で消費されている。この消費電力は、クリーンルームの清浄度の要求からきており、特に空気搬送動力での消費電力が非常に多い。当社では、全面垂直層流方式のクリーンルームにおいて、空気搬送動力の低減を主目的としてファンモジュールユニット(FMU)方式の空調システムを構築し、最新の半導体製造工場に導入した。導入した空調システムは、FMU方式の送風機改良型であり、リサイクルファン方式と比較して約53%の大幅な運転コストの削減を可能にした。このFMU方式の空気搬送動力は、6.5W/CMM(m3/min)である。さらに空調ダクトレスの空調システムの設計により省エネルギー化、省資源化および省メンテナンス化を達成でき、環境保護に貢献できた。



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