沖電気研究開発(No.176)

超純水クローズドシステムの半導体工場への導入

 若松秀利
 吉家義博
 田中宣雄

半導体工場においては、超純水供給システムに対して水質の高純度化のみならず、低コスト化、省エネルギー化、省資源化、再資源化、省スペース化、省メンテナンス化などの強い要望がある。これらの要望に対応すべく、当社の半導体工場に超純水クローズドシステムを構築した。純水供給設備は高純度純水の供給とともに95%以上の純水の高回収率を可能にした。排水回収設備は減圧型の蒸発濃縮回収設備により、省エネ・省資源・省スペース化を可能とした。排水処理設備は高効率置換反応のフッ酸回収設備により、高純度フッ化カルシウム(蛍石)が回収生成でき、フッ酸原料のための再資源化が可能となった。運転コストは、回収率80%のセミクローズドシステムの2倍程度である。



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