沖電気研究開発(No.176)

セラミックフィルタ濾過による
界面活性剤のリサイクルシステム

 高松謙一

沖エンジニアリング(株)は、シリコンウエハ洗浄工程から排出される使用後の界面活性剤を、セラミックフィルタ濾過を利用してリサイクルするシステムを確立した。セラミックフィルタ濾過では、微粒子状の固形分を効率よく除去できるため、界面活性剤を変性させることなくリサイクルできる。この方法により、従来産業廃棄物として処分されていた界面活性剤を90%以上リサイクルすることに成功した。



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