沖電気研究開発(No.173)

Zn固相拡散技術の開発

荻原光彦 谷中真澄 清水孝篤 浜野 広

 従来LEDアレイに使用していた気相拡散では、プリンタの光源として十分な発光強度を得るために拡散深さを深くする必要があり、600DPI以上の超高密度化が困難であった。LEDアレイの超高密度化の課題に対して、新たにZn固相拡散技術を開発し、1200DPI LEDアレイを実現した。Zn固相拡散で高キャリア濃度の拡散領域を形成したLEDでは、発光領域でほぼ均一な発光強度分布となり、発光強度は拡散深さにほぼ依存しないことを確認した。



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