沖電気研究開発(No.173)

磁気抵抗効果材料のセンサへの応用

吉田諭紀 小林達郎

 強磁性体合金薄膜を用いた磁気抵抗効果材料は、小型で高感度、さらに半永久的な寿命を有するという特長がある。この材料を用いて、これまで機械的接点を有しているリードスイッチでは実現が困難であった流量センサの開発を行った。今回開発を行った流量センサは、アナログ出力である強磁性体磁気抵抗効果素子に、波形整形回路を接続することにより、リードスイッチとの置き換えが可能となり、また、半永久的な寿命を有するだけではなく、リードスイッチと比較し、さらに応答速度の向上が可能となった。



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