2012年10月25日
沖エンジニアリング株式会社
沖電気工業株式会社
国内唯一の「気密封止パッケージ内水分・残留ガス分析サービス」を提供開始
MIL規格に準拠したオリジナルシステムを採用し、お客様の製造工程管理を支援

気密封止パッケージ内部ガス分析装置の外観
OKIグループの信頼性評価と環境保全の技術サービスを展開するOKIエンジニアリング(社長:浅井 裕、本社:東京都練馬区)は、このたび、国内唯一となる電子デバイスの「気密封止パッケージ内水分・残留ガス分析サービス」(IVC:Internal Water-Vapor Content)を提供開始しました。セラミックパッケージ(注1)やメタル・キャンパッケージ(注2)など、気密封止(注3)されたデバイスの空洞部の水分やガス成分の特定および含有量を調査することによって、気密封止パッケージ製品の開発・生産を行うお客様の品質管理を支援します。
気密封止パッケージは高信頼性が要求される電子デバイスに使用され、セラミック、メタル、ガラスなどで気密封止されたうえ不活性ガスで充填されています。その空洞部内の水分とガスがその信頼性に大きく影響するため、抜き取り試験などによる品質管理が必要です。その試験手順はMIL規格(注4)に規定されていますが、これを実現するための試験・分析装置は内蔵ガスの分析計のほかに特殊で複雑なサンプリング機構が必要なため、一般的には市販されておらず、試験サービスを提供する試験所も極めて少数です。
OKIエンジニアリングはこのたび、MIL規格に準拠したオリジナルの分析システムを導入し、宇宙防衛関連部品、光部品、リードスイッチ、ランプなどを主なターゲットとした「気密封止パッケージ内水分・残留ガス分析サービス」を開始しました。これは国内唯一のサービスで、パッケージ内水分・ガス分析のほかに、各種部材・接着剤・ガラス類などの吸蔵ガス(注5)の分析も可能のため、材料評価にも利用できます。お客様は、本サービスにより、気密封止パッケージの安定した品質・信頼性を確保することができます。
OKIエンジニアリングは、今後もお客様のニーズに対応した受託試験サービスを提供してまいります。
測定イメージ

サービスの特長
- MIL-STD-883/750規格に準拠したオリジナルシステムを採用
- 対応試料サイズ
- 標準状態(最大)
- 100×100×15mm(W×D×H)
- 拡張オプション使用時
- 80mm(H)まで嵩上げ可能
- 総ガス量2µl(マイクロリットル)~100ml(ミリリットル)
- 室温~1000℃までの任意温度下で放出される吸蔵ガスの分析にも対応可能
販売計画
- 価格の例
- 標準状態対応試料サイズまで 1検体25,000円
- 販売目標
- 13年度 20百万円
用語解説
- 注1:セラミックパッケージ
アルミナ(AL203)で作られた電子部品を納める入れ物。電気絶縁性に優れ、熱膨張係数は樹脂や金属に比べ一桁小さくシリコンに近い値を示すことから、大型のシリコンチップ搭載に広く使用されている。高強度、高靱性、低熱膨張、設計の多様性など、高信頼性への要求に対応するパッケージとして広く使用されている。封止部分は金属キャップを用いられることが多い。
- 注2:メタル・キャンパッケージ
金属を用いた半導体チップの入れ物。金属箱・缶構造で、加工性に優れ、セラミックパッケージよりも安価であるが、構造上多ピン化できないため、少ピン数のデバイスに用いられる。表面実装製品はほとんど無い。
- 注3:気密封止(hermetic sealing)
密閉した空間を減圧のうえ気体を封入し外部に洩れないようにした状態。電子部品用の気密パッケージは通常はシールヘッダーとキャップで構成され、溶接、金錫ろう材を用いた加熱封止、封止ガラス等を用いる。
- 注4:MIL規格(Military Standard)
アメリカ国防総省が制定した軍事物資調達規格。本試験に関する規格は MIL-STD-883:METHOD 1018 INTERNAL WATER-VAPOR CONTENT(内部水蒸気含有量)。
- 注5:吸蔵ガス
部品材料内部に吸蔵されているガス。
リリース関連リンク
- 沖電気工業株式会社は通称をOKIとします。
- 沖エンジニアリング株式会社は、通称をOKIエンジニアリングとします。
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