松木幹雄
田中宣雄
半導体製造工場全体で消費される消費電力量は年間約1億kWhを越えているが、その約43％が空調設備の運転で消費されている。この消費電力は、クリーンルームの清浄度の要求からきており、特に空気搬送動力での消費電力が非常に多い。当社では、全面垂直層流方式のクリーンルームにおいて、空気搬送動力の低減を主目的としてファンモジュールユニット（FMU）方式の空調システムを構築し、最新の半導体製造工場に導入した。導入した空調システムは、FMU方式の送風機改良型であり、リサイクルファン方式と比較して約53％の大幅な運転コストの削減を可能にした。このFMU方式の空気搬送動力は、6.5W/CMM（m3/min）である。さらに空調ダクトレスの空調システムの設計により省エネルギー化、省資源化および省メンテナンス化を達成でき、環境保護に貢献できた。
戻るCopyright (c) 1997 Oki Electric Industry Co., Ltd.
www-admin@www.oki.co.jp