半導体工場や電子部品工場の生産施設の外気処理用空気調和機は、クリーンルーム等の温湿度制御のため、その出口空気の絶対湿度を一定に保つ性能が要求されます。宮城沖電気では、従来エアワッシャと冷却コイルを組み合わせた低速エアワッシャ空気調和機を使用していました。冷却コイルは、送風抵抗が大きく、外気過冷却による再熱が発生するなど、エネルギー削減の大きな課題となっていました。

このたび導入した、水温・水量可変型高速エアワッシャ空気調和機「エコワッシャ^(R)」は、噴霧水温と水量を同時に変更することにより、冷却コイルを用いず、エアワッシャのみで絶対湿度の一定制御を可能にしたものです。冷却コイルの不使用により、従来型低速エアワッシャ空気調和機と比較して、外気処理用エネルギーの冷却・加熱負荷を約21％、および搬送動力を13％低減することができました。CO2換算(注)で年間約290トンの削減効果となります。また、設置スペースが従来型の半分になり省スペース効果もあります。

今回の取り組みは、半導体生産工場における空調・水などの施設管理ノウハウを活用し実現したものです。弊社では、電力などエネルギー消費の環境影響が全体の65％を占めており、このうち90％が半導体生産工場で消費されています。今後もさらに研究を進めてエネルギー削減を実現するとともに、製造工程で使用される化学物質の社内再利用までを考慮した「資源循環型工場」の構築を推進していく計画です。

（注）CO2換算：

電機・電子4団体2003年度実績フォローアップ調査（CO2排出係数の算定）による。

• エコワッシャは株式会社大気社の登録商標です。
• その他、記載されている会社名、製品名は、一般に各社の商標または登録商標です。